用于玻璃基板搬送卡匣上,完成定位 適用于各制程的玻璃儲藏結構
● 產品用途:特殊軸承構造非常順暢的作動,能令玻璃卡匣移送載具輕松完成定位的stage ● 產品性能:荷重150kgf~800kgf ;摩擦系數低、專業的軸承構成,耐久性佳;模組化設計、安裝容易 ● 荷載釋放后,可迅速恢復至原點待命,提供氣壓鎖定功能產品,防止晃動,適用于各制程的玻璃儲藏結構 ● 符合無塵室使用要求,可提供客制品
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